離子束加工技術(shù)的基本原理

在離子束加工過程當(dāng)中，電子槍在真空條件下產(chǎn)生電子束，然后電子束被引入到已經(jīng)被抽空并充滿惰性氣體的電離室中，以電離低壓惰性氣體。從陰極提取的陽離子被加速并成束，注入工件表層。

離子束加工裝置主要由電子槍真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源系統(tǒng)四部分組成。

離子束加工技術(shù)的特色

1.是一種精密精細(xì)的加工方法。

2.非接觸加工不會產(chǎn)生應(yīng)力和變形。

3.處理速度快，能量利用率可高達(dá)90%。

4.加工過程可以自動化。

5.它是在真空室中進(jìn)行的，污染少，材料的加工表層沒有氧化。

6.離子束加工需要一整套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價(jià)格昂貴。

7.因?yàn)殡x子束密度和離子能量可以精確控制，所以加工效果可以控制。

8.加工應(yīng)力小。變形小，對材料適應(yīng)性強(qiáng)。

9.由于加工是在較高的真空度下進(jìn)行的，所以污染較小，特別適合加工易氧化的材料。

離子束加工技術(shù)的應(yīng)用

1.蝕刻過程:

離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓電機(jī)上的凹槽，分辨率高，精度好，重復(fù)性好。

離子束蝕刻應(yīng)用的另一個(gè)方面是蝕刻高精度圖形，例如集成電路、光電器件和光學(xué)集成器件。

太陽能電池表層具有非反射紋理表層。

離子束刻蝕也用于薄化材料和制作透射電子顯微鏡標(biāo)本。

2.離子束涂層處理:

離子束鍍膜有兩種形式:濺射沉積和離子鍍。

有很多種材料可以通過離子鍍進(jìn)行電鍍。金屬或非金屬薄膜可以鍍在金屬或非金屬表層，也可以鍍各種合金、化合物或一些合成材料、半導(dǎo)體材料和高熔點(diǎn)材料。

離子束鍍膜技術(shù)可用于潤滑膜、耐熱膜、耐磨膜、裝飾膜和電膜的鍍膜。

離子束裝飾膜。

離子束鍍膜代替鉻硬膜可以減少鉻污染。

提高刀具使用年限。