文章摘要: 晶圓切割是通過高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片(也是激光切割技術)在晶圓上切割單個裸片,以形成獨立的單個晶圓,為后續(xù)工藝做準備。在切割過程當中,需要使用去離子水沖洗掉切割過程當中產(chǎn)生的硅渣并釋放出靜電。去離子水是由一臺二氧化碳純水機制備的,將二氧化碳氣
晶圓切割是通過高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片(也是激光切割技術)在晶圓上切割單個裸片,以形成獨立的單個晶圓,為后續(xù)工藝做準備。
在切割過程當中,需要使用去離子水沖洗掉切割過程當中產(chǎn)生的硅渣并釋放出靜電。去離子水是由一臺二氧化碳純水機制備的,將二氧化碳氣體溶解在離子水中可下降水的阻力,從而促進靜電的釋放。
晶圓切割也稱為劃片,它使用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片在晶圓上切割單個裸片,以形成獨立的單個晶圓,為后續(xù)工藝做準備。晶圓切割需要設備,也需要特定的切割刀片。該設備被廣泛用于半導體晶圓切割,陶瓷片切割,藍寶石玻璃切割等。
繃片是一個晶圓切割前的晶圓固定工序,在晶圓的背面貼上一層藍膜,并固定在一個金屬框架上,以利于后面切割。在貼膜的過程當中要加60℃~80℃溫度,使藍膜能堅固粘貼在晶圓上。在切割過程當中,需要使用去離子水沖洗掉切割產(chǎn)生的硅渣并釋放出靜電。去離子水是由一臺二氧化碳純水機制備的。將二氧化碳氣體溶解在離子水中可下降水的阻力,從而促進靜電的釋放。紫外線照射是要對切割的藍膜進行紫外線照射,以下降藍膜的粘度并促進后續(xù)的拾取。
晶圓切割分為半切和全切兩種,半切是切割4/5晶圓厚度,不會切透晶圓,然后用機械方式(銅棒滾過)使其自動裂口形成獨立。
晶圓切割的過程是什么?
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