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烯烴聚合催化劑

山東德盛新材料有限公司 2025-07-18 15:53:29

烯烴聚合催化劑
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化學(xué)上CAN是鈰銨的縮略寫法,分子式為Ce(NH4)2(NO3)6 ,形狀是桔紅色顆粒狀結(jié)晶。
常用于集成電路制造等領(lǐng)域的銅刻蝕工藝。例如在銅互連結(jié)構(gòu)制造中,可采用濕法刻蝕工藝,蝕工藝具有一定優(yōu)勢,如刻蝕速率較快,能夠提高生產(chǎn)效率;可通過調(diào)整蝕刻液成分和工藝條件,較好地控制刻蝕速率和刻蝕精度,滿足精細(xì)線路制作的要求。

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