在半導體制造過程中，生產(chǎn)設備往往需要在高溫、高壓、高精度的環(huán)境下運行，同時還會使用大量易燃的特種氣體和化學品。一旦發(fā)生火災，不僅會造成昂貴的設備損壞，還可能導致整條生產(chǎn)線停工，帶來巨大的經(jīng)濟損失。因此，半導體設備滅火裝置成為保障生產(chǎn)安全的重要防線。

半導體設備的火災風險
半導體工廠的潔凈室內布滿精密儀器和復雜的電氣線路，同時在生產(chǎn)過程中會使用氫氣、硅烷等易燃氣體。這些氣體一旦泄漏，遇到電火花或高溫就可能引發(fā)火災。此外，設備長時間運行可能導致局部過熱，進一步增加火災風險。如果火勢蔓延，不僅會燒毀設備，還會污染生產(chǎn)環(huán)境，導致芯片良率下降。