超邁真空等離子刻蝕機 免費打樣設(shè)計 各種類型可供選擇
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2024-08-14 15:50:11
Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，最大刻蝕尺寸可達φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標，滿足大口徑基片刻蝕的需求。
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