ADTEC射頻電源維修AX-2000III；等離子電源維修；鍍膜電源維修AX-600III

射頻電源設(shè)備維修包括：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)，CPSΜ射頻電源匹配器及RF射頻電源發(fā)生器維修。

應(yīng)用范圍：主要服務(wù)于太陽(yáng)能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤(pán)、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、微波發(fā)生器等，提供設(shè)備維護(hù)維修保養(yǎng)整包、批量產(chǎn)品維修。

RF MATCH射頻匹配器維修范圍有ADVANCED射頻電源匹配器；ASTEX射頻電源匹配器；NP射頻電源匹配器；ASTECH射頻電源匹配器；SEREN射頻電源匹配器；射頻電源匹配器；KYOSAN射頻電源匹配器；ENI射頻電源匹配器；DAIHEN射頻電源匹配器；射頻電源匹配器；TRAZAR射頻電源匹配器維修等

主營(yíng)業(yè)務(wù)：提供維修服務(wù)

一、維修真空濺射鍍膜設(shè)備、等離子清洗設(shè)備、真空貼合機(jī)、設(shè)備上的電控部件:射頻電源、射頻器、靶材電源、高壓電源、微波電源、磁控濺射電源、中頻電源、高頻電源、遠(yuǎn)程等離子體源、霍爾離子源、脈沖電源、直流電源、氧化源電源、特種電源、匹配器、膜厚儀等。