美國SEREN電源維修（SEREN射頻匹配器）包括：

R系列射頻電源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13，R600

HR系列射頻電源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001

L系列低頻電源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射頻電源

用于ICP領(lǐng)域AT系列自動匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

射頻電源維修注意事項：

在更換完器件后,上電前應(yīng)對其相關(guān)器件進行測量,是否出現(xiàn)短路現(xiàn)象(如整流橋、IGBT管、電源輸入輸出部分、功率器件輸入輸出等等)