LFGS射頻發(fā)生器是用于半導體生產和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D類型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設計，可安裝在19英寸機架上面。應用包括濺射、等離子蝕刻、化學氣象沉積、聚合以及表面處理設備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應功率開關管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機器用久后出現V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應管。當濾波電容上無380VDC左右電壓時，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳，將V0端與板上焊點焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當Vstart/control端為低電平時，PFC亦不能工作，則要檢測其端點與外部相連的有關電路。