集成電路硅片激光切割穿孔來圖定制
200元2022-12-04 08:28:13
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產(chǎn)地 | 北京 | 分類 | 硅片切割 |
切割加工最小縫隙 | 0.05mm | 加工厚度范圍 | 0.1--2mm |
加工方式 | 激光切割 | 品牌 | HE |
微信號 | 13011886131 | 服務(wù)范圍 | 全國 |
硅片大小加工范圍 | 300mm | 聯(lián)系人 | 張經(jīng)理 |
集成電路硅片激光切割穿孔來圖定制
硅片激光切割設(shè)備的特點:
·高配置:采用進口光纖激光器,光束質(zhì)量更好(標(biāo)準基模)、切縫更細(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護:整機采用國際標(biāo)準模塊化設(shè)計,真正免維護、不間斷連續(xù)運行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設(shè)備集成風(fēng)冷設(shè)置,設(shè)備體積更小,操作更簡單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機而設(shè)計的控制軟件,操作簡單,能實時顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺雙工位交替運行,提高工作效率。


激光切割于傳統(tǒng)機械切割硅片相比,是一種行的加工方式,有一下幾點加工優(yōu)勢:
1、激光加工一步即可完成的、干燥對的加工過程。
2、邊緣光滑整齊,不需要后續(xù)的清潔和打磨。
3、激光加工的分離過程產(chǎn)生高強度、自然回火的邊緣,沒有微小裂痕。使用激光加工避免了不可預(yù)料的裂痕和殘破,提高了成品率。


激光加工的應(yīng)用
激光加工技術(shù)應(yīng)用廣泛,且在很多行業(yè)都已經(jīng)很成熟,比如航空航天、新能源鋰電、光伏太陽能、顯示與半導(dǎo)體、PCB行業(yè)、電子信息行業(yè)、機械五金行業(yè)、家電廚衛(wèi)行業(yè)、鈑金加工行業(yè)、包裝行業(yè),以及電子煙行業(yè)等領(lǐng)域,對于提高勞動生產(chǎn)率、提高產(chǎn)品質(zhì)量、實現(xiàn)自動化生產(chǎn)、保護環(huán)境、減少材料資源消耗、降低生產(chǎn)成本等起著十分重要的作用。


激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學(xué)整形,讓其透過材料表面在材料內(nèi)部聚焦,在焦點區(qū)域能量密度較高,形成多光子吸收非線性吸收效應(yīng),使得材料改性形成裂紋。每一個激光脈沖等距作用,形成等距的損傷即可在材料內(nèi)部形成一個改質(zhì)層。在改質(zhì)層位置材料的分子鍵被破壞,材料的連接變的脆弱而易于分開。切割完成后通過拉伸承載膜的方式,將產(chǎn)品充分分開,并使得芯片與芯片之間產(chǎn)生間隙。這樣的加工方式避免了機械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術(shù)可應(yīng)用于藍寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導(dǎo)體晶圓。


隨著硅半導(dǎo)體集成電路的廣泛應(yīng)用,硅半導(dǎo)體集成電路都要用到晶圓,傳統(tǒng)的晶圓切割方法,都是手工采用金剛石刀進行切割,在晶圓上劃分出若干個圓環(huán),在劃分出的圓環(huán)上切割出面積相等或者近似相等的小圓弧體?;蛘卟捎玫氖欠蔷鶆驁A環(huán)、同一圓心角內(nèi)進行切割的切割方法,這種晶圓切割方法的耗材大,經(jīng)常要更換刀具,切割出來的晶圓芯片相距的寬度比較大,不均勻,所能切割的材料單一,適用性差,效率低下。
因此晶圓激光切割的方法工作效率高、能精確地調(diào)整待切割晶圓的各個方向的位置、精度高、全自動運行,對晶圓切割的位置進行準確定位,切割出來的晶圓芯片均勻、美觀,能切割多種材料,適應(yīng)性強,可以避免薄晶圓因切割破裂


激光切割技術(shù)集光學(xué)、精密機械、電子技術(shù)和計算機技術(shù)于一體,于傳統(tǒng)方法相比
1、加工速度快;2、窄切槽(20um-30um),晶圓利用率高;3、非接觸式加工,適合薄基圓;4、自動化程度高,任意圖形切割。目前激光切割技術(shù)可以應(yīng)用于切割硅片、低k材料、發(fā)光二極管襯底、微機電系統(tǒng)和薄膜太陽能電池等光電及半導(dǎo)體材料。
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